Изготовление и исследование дифракционной решетки, выполненной из прозрачного проводящего оксида

Abstract

Методом литографии изготовлена дифракционная решетка на основе прозрачного проводящего оксида индия – олова с периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. При помощи эллипсометра определены показатели преломления и поглощения оксида индия – олова толщиной 115..117 нм, которые на длине волны 633 нм равны n=1,857±0,008, k=0,000±0,009. С использованием спектроскопии исследовано пропускание в области выступа и щели решетки, составившее 82,6% и 91%, соответственно. Исследована диаграмма направленности дифракционной решетки и обнаружен ее амплитудно-фазовый характер, обусловленный различным пропусканием участков маски оксида индия – олова.