| Title: | Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников интегральных микросхем |
| Authors: | Коврига Ю. Ю. Архипов А. В. |
| Keywords: | интегральные микросхемы тонкопленочные проводники тонкопленочная металлизация электродиффузионный массоперенос электродиффузионная надежность |
| Issue Date: | 1997 |
| Citation: | Коврига, Ю. Ю. Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников интегральных микросхем / Ю. Ю. Коврига ; науч. руководитель А. В. Архипов // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 42. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10157 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр._1997-42.pdf | 66.63 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.