Title: Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников интегральных микросхем
Authors: Коврига Ю. Ю.
Архипов А. В.
Keywords: интегральные микросхемы
тонкопленочные проводники
тонкопленочная металлизация
электродиффузионный массоперенос
электродиффузионная надежность
Issue Date: 1997
Citation: Коврига, Ю. Ю. Электродиффузионная надежность тонкопленочных проводников интегральных микросхем / Ю. Ю. Коврига ; науч. руководитель А. В. Архипов // Королевские чтения : Всерос. студ. науч. конф. 7 - 8 окт. 1997 г. : тез. докл. / М-во общ. и проф. образования Рос. Федерации [и др.] ; ред. В. М. Дуплякин. - Самара. - С. 42.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/10157
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр._1997-42.pdf66.63 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.