Browsing by Author Гзиришвили Л. Г.
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2021 | Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масок | Гзиришвили Л. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А. |