Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Математическая модель гетерогенного плазмохимического образования нитридов при вакуумном ионно-плазменном напылении |
| Authors: | Малкин В. И. |
| Keywords: | нитридные покрытия нитридообразование плазменные потоки плазменные технологии |
| Issue Date: | 1995 |
| Citation: | Малкин, В. И. Математическая модель гетерогенного плазмохимического образования нитридов при вакуумном ионно-плазменном напылении / В. И. Малкин // Математическое моделирование систем и явлений : межвуз. сб. науч. тр. / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; редкол.: В. Л. Балакин (отв. ред.), В. С. Асланов, П. В. Трусов, Б. А. Горлач, В. М. Серов, В. Ю. Стеблов. - Самара, 1995. - С. 65-70. |
| Abstract: | Предложена математическая модель процесса гетерогенного плазменного образования нитридного покрытия с заданными свойствами. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/34244 |
| Appears in Collections: | Математическое моделирование систем и явлений |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 5-230-16977-х_1995-65-70.pdf | 685.37 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.