Отрывок: В целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич...
Название : | Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент |
Другие названия : | Improving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experiment |
Авторы/Редакторы : | Кирьянов, В.П. Гурин, Н.А. |
Ключевые слова : | дифракционные оптические элементы дифракционная эффективность прямая лазерная запись оптические технологии |
Дата публикации : | Апр-2023 |
Издательство : | Самарский национальный исследовательский университет |
Библиографическое описание : | Кирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161. |
Серия/номер : | 47;2 |
Аннотация : | Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | 10.18287/2412-6179-CO-1161 http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Povyshenie-difrakcionnoi-effektivnosti-struktur-pri-pryamoi-lazernoi-zapisi-naklonnymi-puchkami-modelirovanie-i-eksperiment-102122 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20230222\102122 |
ГРНТИ: | 29.31.27 |
Располагается в коллекциях: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
2412-6179_2023_47-2_235-245.pdf | Основная статья | 1.34 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.