Отрывок: В целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКирьянов, В.П.-
dc.contributor.authorГурин, Н.А.-
dc.date.accessioned2023-02-28 16:17:52-
dc.date.available2023-02-28 16:17:52-
dc.date.issued2023-04-
dc.identifierDspace\SGAU\20230222\102122ru
dc.identifier.citationКирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161.ru
dc.identifier.uri10.18287/2412-6179-CO-1161-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Povyshenie-difrakcionnoi-effektivnosti-struktur-pri-pryamoi-lazernoi-zapisi-naklonnymi-puchkami-modelirovanie-i-eksperiment-102122-
dc.description.abstractПроведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений.ru
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ (государственная регистрация № 121042900050-6).ru
dc.language.isorusru
dc.publisherСамарский национальный исследовательский университетru
dc.relation.ispartofseries47;2-
dc.subjectдифракционные оптические элементыru
dc.subjectдифракционная эффективностьru
dc.subjectпрямая лазерная записьru
dc.subjectоптические технологииru
dc.titleПовышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и экспериментru
dc.title.alternativeImproving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experimentru
dc.typeArticleru
dc.textpartВ целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич...-
dc.classindex.scsti29.31.27-
Располагается в коллекциях: Журнал "Компьютерная оптика"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
2412-6179_2023_47-2_235-245.pdfОсновная статья1.34 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.