Отрывок: В целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кирьянов, В.П. | - |
dc.contributor.author | Гурин, Н.А. | - |
dc.date.accessioned | 2023-02-28 16:17:52 | - |
dc.date.available | 2023-02-28 16:17:52 | - |
dc.date.issued | 2023-04 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20230222\102122 | ru |
dc.identifier.citation | Кирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161. | ru |
dc.identifier.uri | 10.18287/2412-6179-CO-1161 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Povyshenie-difrakcionnoi-effektivnosti-struktur-pri-pryamoi-lazernoi-zapisi-naklonnymi-puchkami-modelirovanie-i-eksperiment-102122 | - |
dc.description.abstract | Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений. | ru |
dc.description.sponsorship | Работа выполнена при поддержке Министерства науки и высшего образования РФ (государственная регистрация № 121042900050-6). | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Самарский национальный исследовательский университет | ru |
dc.relation.ispartofseries | 47;2 | - |
dc.subject | дифракционные оптические элементы | ru |
dc.subject | дифракционная эффективность | ru |
dc.subject | прямая лазерная запись | ru |
dc.subject | оптические технологии | ru |
dc.title | Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент | ru |
dc.title.alternative | Improving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experiment | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | В целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич... | - |
dc.classindex.scsti | 29.31.27 | - |
Располагается в коллекциях: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
2412-6179_2023_47-2_235-245.pdf | Основная статья | 1.34 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.