Отрывок: В целом же симметричный характер протравленного профиля канавки принципиально не изменился. Рис. 6. Распределение плотности мощности и динамика формирования профиля в фоторезисте: а) не диафрагмированный пучок, б) диафрагмированный пучок На рис. 7а приведены результаты расчёта экспо- нирования слабоконтрастного фоторезиста (к = 3) из- лучением лазера, диафрагмированного до половины диаметра входной апертуры и смещённого относи- тельно оптич...
Название : Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент
Другие названия : Improving the diffraction efficiency of structures in direct laser writing using obliquely incident beams: modeling and experiment
Авторы/Редакторы : Кирьянов, В.П.
Гурин, Н.А.
Ключевые слова : дифракционные оптические элементы
дифракционная эффективность
прямая лазерная запись
оптические технологии
Дата публикации : Апр-2023
Издательство : Самарский национальный исследовательский университет
Библиографическое описание : Кирьянов, В.П. Повышение дифракционной эффективности структур при прямой лазерной записи наклонными пучками: моделирование и эксперимент / В.П. Кирьянов, Н.А. Гурин // Компьютерная оптика. – 2023. – Т. 47, № 2. – С. 235-245. – DOI: 10.18287/2412-6179-CO-1161.
Серия/номер : 47;2
Аннотация : Проведён краткий обзор методов повышения дифракционной эффективности оптических элементов, синтезированных путём прямой лазерной записи. Отмечено, что предложенные ранее методы записи топологии подобных элементов с применением объёмных или поверхностных контурных масок не обеспечивают окончательного решения проблемы повышения дифракционной эффективности. Выполненные модельные и натурные эксперименты по формированию структур рельефно-фазовых оптических элементов путём записи профилей зон с помощью наклонных лазерных пучков показали принципиальную возможность формирования отвесных склонов обратных скатов зон и целесообразность развития данной технологии на основе лазерных генераторов изображений.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : 10.18287/2412-6179-CO-1161
http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Povyshenie-difrakcionnoi-effektivnosti-struktur-pri-pryamoi-lazernoi-zapisi-naklonnymi-puchkami-modelirovanie-i-eksperiment-102122
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20230222\102122
ГРНТИ: 29.31.27
Располагается в коллекциях: Журнал "Компьютерная оптика"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
2412-6179_2023_47-2_235-245.pdfОсновная статья1.34 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.