Отрывок: Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки... Михеев И.Д., Вахитов Ф.Х. Компьютерная оптика, 2019, том 43, №3 509 Рис. 1. Действие латеральных сил на отклонение от нормали кантилевера (образец №1) при сканировании в прямом направлении Рис. 2. Действие латеральных сил на отклонение от нормали кантилевера (образец №1) при сканировании в обратном направлении Рис. 3. Действие латеральных сил на отклонение от нормали кантилевера (образец №2) при с...
Название : Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
Другие названия : The use of atomic force microscopy to assess the quality of cleaning and tribometric properties of a silicon wafer surface
Авторы/Редакторы : Михеев, И.Д.
Вахитов, Ф.Х.
Ключевые слова : томно-силовая микроскопия
трибометрические свойства
кремниевые пластины
Дата публикации : Июн-2019
Издательство : Самарский национальный исследовательский университет им. академика С.П. Королева, Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Библиографическое описание : Михеев, И.Д. Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин / И.Д. Михеев, Ф.Х. Вахитов // Компьютерная оптика. – 2019. – Т. 43, № 3. – С. 507-511. – DOI: 10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-517.
Серия/номер : 43;3
Аннотация : Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : https://dx.doi.org/10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-517.
http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Ispolzovanie-atomnosilovoi-mikroskopii-dlya-ocenki-kachestva-ochistki-i-tribometricheskih-svoistv-poverhnosti-kremnievyh-plastin-78042
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20190718\78042
ГРНТИ: 29.19.16
Располагается в коллекциях: Журнал "Компьютерная оптика"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
20_Miheev-Vahitov_AA-L-MI-Pages-SV-VVK-JuN2-NL-Gr-!-Fin.pdfОсновная статья692.88 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.