Репозиторий Самарского университета
Отрывок: Существенным фактором, влияющим на методи- ческую погрешность определения величины СКО во втором спектральном диапазоне при построении од- номерной целевой функции р 1 (ν )S D , является эф- фект спектральной «утечки» частоты (рис. 3а, б). Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений … Денисов Д.Г. Компьютерная оптика, 2017, том 41, №6 825 а...
| Название : | Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей |
| Другие названия : | Error analysis in digital processing of the results of interferometric control of nano-scale local deviations of optical surfaces |
| Авторы/Редакторы : | Денисов, Д.Г. |
| Ключевые слова : | оптический контроль интерферометрия измерения поверхности спектральная плотность мощности методические погрешности краевой эффект эффект «утечки» частоты |
| Дата публикации : | Дек-2017 |
| Издательство : | Самарский университет |
| Библиографическое описание : | Денисов, Д.Г. Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей / Д.Г. Денисов // Компьютерная оптика. – 2017. – Т.41, № 6. – С. 820-830. |
| Серия/номер : | 41;6 |
| Аннотация : | Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции – спектральной плотности одномерной корреляционной функции. Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | https://dx.doi.org/10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830 http://repo.ssau.ru/handle/Zhurnal-Komputernaya-optika/Analiz-pogreshnostei-pri-cifrovoi-obrabotke-rezultatov-interferometricheskogo-kontrolya-lokalnyh-otklonenii-nanometrovogo-urovnya-poverhnostei-opticheskih-detalei-66811 |
| Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20180111\66811 |
| Располагается в коллекциях: | Журнал "Компьютерная оптика" |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 410605.pdf | Основная статья | 1.06 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.