Отрывок: При получении заданной толщины задатчик 11, подключенный к счет­ чику 10, выдает команду на завершение процесса напыления. Большое влияние на погрешность формирования спектраль­ ных характеристик СФЭ оказывает равномерность наносимых на по­ верхность подложки интерференционных слоев. Известно, что по закону Кнудсена- Ламберта количество частиц, попадающих на подложку при испарении из точечного источника прямо пропорционально косинусу угла отклонения потока ...
Название : Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины
Авторы/Редакторы : Матюнин, С.А.
Барынкин, В.В.
Ключевые слова : диэлектрические пленки
термическое осаждение
диаграмма направленности
Дата публикации : 2001
Издательство : СГАУ
Библиографическое описание : Матюнин, С. А. Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины / С. А. Матюнин, В. В. Барынкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т; [под общ. ред. Ю. Ф. Широкова]. – Самара : СГАУ, 2001. – Вып. 6. – С. 73-77.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Tehnologicheskie-osobennosti-termicheskogo-osazhdeniya-dielektricheskih-plenok-peremennoi-tolshiny-65333
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20170918\65333
Располагается в коллекциях: Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
apr_2001_6_17.pdfОсновная статья2.1 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.