Отрывок: При получении заданной толщины задатчик 11, подключенный к счет чику 10, выдает команду на завершение процесса напыления. Большое влияние на погрешность формирования спектраль ных характеристик СФЭ оказывает равномерность наносимых на по верхность подложки интерференционных слоев. Известно, что по закону Кнудсена- Ламберта количество частиц, попадающих на подложку при испарении из точечного источника прямо пропорционально косинусу угла отклонения потока ...
Название : | Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины |
Авторы/Редакторы : | Матюнин, С.А. Барынкин, В.В. |
Ключевые слова : | диэлектрические пленки термическое осаждение диаграмма направленности |
Дата публикации : | 2001 |
Издательство : | СГАУ |
Библиографическое описание : | Матюнин, С. А. Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины / С. А. Матюнин, В. В. Барынкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т; [под общ. ред. Ю. Ф. Широкова]. – Самара : СГАУ, 2001. – Вып. 6. – С. 73-77. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Tehnologicheskie-osobennosti-termicheskogo-osazhdeniya-dielektricheskih-plenok-peremennoi-tolshiny-65333 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20170918\65333 |
Располагается в коллекциях: | Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
apr_2001_6_17.pdf | Основная статья | 2.1 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.