Отрывок: При получении заданной толщины задатчик 11, подключенный к счет­ чику 10, выдает команду на завершение процесса напыления. Большое влияние на погрешность формирования спектраль­ ных характеристик СФЭ оказывает равномерность наносимых на по­ верхность подложки интерференционных слоев. Известно, что по закону Кнудсена- Ламберта количество частиц, попадающих на подложку при испарении из точечного источника прямо пропорционально косинусу угла отклонения потока ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМатюнин, С.А.-
dc.contributor.authorБарынкин, В.В.-
dc.date.accessioned2017-10-16 12:25:06-
dc.date.available2017-10-16 12:25:06-
dc.date.issued2001-
dc.identifierDspace\SGAU\20170918\65333ru
dc.identifier.citationМатюнин, С. А. Технологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщины / С. А. Матюнин, В. В. Барынкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники / Самар. гос. аэрокосм. ун-т; [под общ. ред. Ю. Ф. Широкова]. – Самара : СГАУ, 2001. – Вып. 6. – С. 73-77.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Vestnik-SGAU-Aktualnye-problemy-radioelektroniki/Tehnologicheskie-osobennosti-termicheskogo-osazhdeniya-dielektricheskih-plenok-peremennoi-tolshiny-65333-
dc.language.isorusru
dc.publisherСГАУru
dc.subjectдиэлектрические пленкиru
dc.subjectтермическое осаждениеru
dc.subjectдиаграмма направленностиru
dc.titleТехнологические особенности термического осаждения диэлектрических пленок переменной толщиныru
dc.typeArticleru
dc.textpartПри получении заданной толщины задатчик 11, подключенный к счет­ чику 10, выдает команду на завершение процесса напыления. Большое влияние на погрешность формирования спектраль­ ных характеристик СФЭ оказывает равномерность наносимых на по­ верхность подложки интерференционных слоев. Известно, что по закону Кнудсена- Ламберта количество частиц, попадающих на подложку при испарении из точечного источника прямо пропорционально косинусу угла отклонения потока ...-
Располагается в коллекциях: Вестник СГАУ. Актуальные проблемы радиоэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
apr_2001_6_17.pdfОсновная статья2.1 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.