Репозиторий Самарского университета
Отрывок: В зависимости от числа столкновений положительных ионов на пути к катоду их энергия будет изменяться согласно выражению: ( ) ( ) 1 2 4 21 1 , 2- æ ö +æ ö = - + -ç ÷ ç ÷ç ÷+ è øè ø ii n n i h nm ME E eU arctg cm M l p Секция 7. Микроэлектроника, наноэлектроника и приборостроение 55 где n – номер соударения иона с атомом или молекулой в полости катода; Еn-1 –...
| Название : | Оптимизация конструкции широкоапертурного источника внеэлектродной плазмы с полым катодом |
| Авторы/Редакторы : | Лукичёв, Д.С. Маркушин, М.А. Столбинский, Д.В. Колпаков, В.А. |
| Ключевые слова : | плазма высоковольтный газовый разряд полый катод источник низкотемпературной плазмы |
| Дата публикации : | 2015 |
| Издательство : | Издательство СГАУ |
| Библиографическое описание : | XIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 54-55 |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Optimizaciya-konstrukcii-shirokoaperturnogo-istochnika-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-62269 |
| ISBN : | 978-5-9905304-6-1 |
| Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20170213\62269 |
| УДК: | 537.5; 537.525.99 |
| Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 54-55.pdf | Основная статья | 390.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.