Отрывок: В зависимости от числа столкновений положительных ионов на пути к катоду их энергия будет изменяться согласно выражению: ( ) ( ) 1 2 4 21 1 , 2- æ ö +æ ö = - + -ç ÷ ç ÷ç ÷+ è øè ø ii n n i h nm ME E eU arctg cm M l p Секция 7. Микроэлектроника, наноэлектроника и приборостроение 55 где n – номер соударения иона с атомом или молекулой в полости катода; Еn-1 –...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЛукичёв, Д.С.-
dc.contributor.authorМаркушин, М.А.-
dc.contributor.authorСтолбинский, Д.В.-
dc.contributor.authorКолпаков, В.А.-
dc.date.accessioned2017-02-13 15:46:19-
dc.date.available2017-02-13 15:46:19-
dc.date.issued2015-
dc.identifierDspace\SGAU\20170213\62269ru
dc.identifier.citationXIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 54-55ru
dc.identifier.isbn978-5-9905304-6-1-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Optimizaciya-konstrukcii-shirokoaperturnogo-istochnika-vneelektrodnoi-plazmy-s-polym-katodom-62269-
dc.language.isorusru
dc.publisherИздательство СГАУru
dc.subjectплазмаru
dc.subjectвысоковольтный газовый разрядru
dc.subjectполый катодru
dc.subjectисточник низкотемпературной плазмыru
dc.titleОптимизация конструкции широкоапертурного источника внеэлектродной плазмы с полым катодомru
dc.typeArticleru
dc.textpartВ зависимости от числа столкновений положительных ионов на пути к катоду их энергия будет изменяться согласно выражению: ( ) ( ) 1 2 4 21 1 , 2- æ ö +æ ö = - + -ç ÷ ç ÷ç ÷+ è øè ø ii n n i h nm ME E eU arctg cm M l p Секция 7. Микроэлектроника, наноэлектроника и приборостроение 55 где n – номер соударения иона с атомом или молекулой в полости катода; Еn-1 –...-
dc.classindex.udc537.5; 537.525.99-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
54-55.pdfОсновная статья390.87 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.