Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Кроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис....

Название :	Метод оценки чистоты поверхности подложек, обработанных плазмой высоковольтного газового разряда
Авторы/Редакторы :	Маркушин, М.А. Столбинский, Д.В. Кричевский, С.В.
Ключевые слова :	плазма внеэлектродного газового разряда подложки финишная очистка
Дата публикации :	2015
Издательство :	Издательство СГАУ
Библиографическое описание :	XIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 56-57
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Metod-ocenki-chistoty-poverhnosti-podlozhek-obrabotannyh-plazmoi-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-62277
ISBN :	978-5-9905304-6-1
Другие идентификаторы :	Dspace\SGAU\20170213\62277
УДК:	621.382
Располагается в коллекциях:	Королевские чтения

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.