Отрывок: Кроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис....
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМаркушин, М.А.-
dc.contributor.authorСтолбинский, Д.В.-
dc.contributor.authorКричевский, С.В.-
dc.date.accessioned2017-02-13 15:50:06-
dc.date.available2017-02-13 15:50:06-
dc.date.issued2015-
dc.identifierDspace\SGAU\20170213\62277ru
dc.identifier.citationXIII Королёвские чтения: Международная молодёжная научная конференция, Самара, 6-8 октября 2015 года: Тезисы докладов, T.2. Самара: Издательство СГАУ, 2015, с. 56-57ru
dc.identifier.isbn978-5-9905304-6-1-
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Metod-ocenki-chistoty-poverhnosti-podlozhek-obrabotannyh-plazmoi-vysokovoltnogo-gazovogo-razryada-62277-
dc.language.isorusru
dc.publisherИздательство СГАУru
dc.subjectплазма внеэлектродного газового разрядаru
dc.subjectподложкиru
dc.subjectфинишная очисткаru
dc.titleМетод оценки чистоты поверхности подложек, обработанных плазмой высоковольтного газового разрядаru
dc.typeArticleru
dc.textpartКроме того, исследования показали, что экспериментальные данные, полученные разными методами (измеренные методом конденсации, окунания и трибометрии), хорошо согласуются с теоретическими кривыми. Режимы финишной очистки подложек в ПВГР, полученные с использованием выражения (1), обеспечивают параметры поверхности микрорельефа (рис. 1,а), значительно превосходящие аналогичные параметры микрорельефа, формируемого с применением химической очистки поверхности подложки (рис....-
dc.classindex.udc621.382-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
56-57.pdfОсновная статья373.3 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.