Отрывок: П л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на...
Название : | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов |
Авторы/Редакторы : | Пиганов М. Н. Дмитриев В. Д. Архипов А. В. Федеральное агентство по образованию Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 2007 |
Библиографическое описание : | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб) |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Приводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС. Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470518 |
Ключевые слова: | вакуумные установки измерение степени вакуума методические материалы методы удаления газа приборы измерения степени вакуума установка тонкопленочного напыления материалов |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf | 901.02 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.