Отрывок: П л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пиганов М. Н. | ru |
dc.contributor.author | Дмитриев В. Д. | ru |
dc.contributor.author | Архипов А. В. | ru |
dc.contributor.author | Федеральное агентство по образованию | ru |
dc.contributor.author | Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева | ru |
dc.coverage.spatial | вакуумные установки | ru |
dc.coverage.spatial | измерение степени вакуума | ru |
dc.coverage.spatial | методические материалы | ru |
dc.coverage.spatial | методы удаления газа | ru |
dc.coverage.spatial | приборы измерения степени вакуума | ru |
dc.coverage.spatial | установка тонкопленочного напыления материалов | ru |
dc.date.accessioned | 2021-12-03 15:46:29 | - |
dc.date.available | 2021-12-03 15:46:29 | - |
dc.date.issued | 2007 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\470518 | ru |
dc.identifier.citation | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб) | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247 | - |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat. | ru |
dc.description.abstract | Приводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС. | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 901,02 КБ) | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственный | ru |
dc.title | Изучение установки тонкопленочного напыления материалов | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.01.33 | ru |
dc.subject.udc | 621.382.049.77(075) | ru |
dc.textpart | П л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на... | - |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf | 901.02 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.