Отрывок: П л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПиганов М. Н.ru
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.ru
dc.contributor.authorАрхипов А. В.ru
dc.contributor.authorФедеральное агентство по образованиюru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialвакуумные установкиru
dc.coverage.spatialизмерение степени вакуумаru
dc.coverage.spatialметодические материалыru
dc.coverage.spatialметоды удаления газаru
dc.coverage.spatialприборы измерения степени вакуумаru
dc.coverage.spatialустановка тонкопленочного напыления материаловru
dc.date.accessioned2021-12-03 15:46:29-
dc.date.available2021-12-03 15:46:29-
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\470518ru
dc.identifier.citationИзучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб)ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.ru
dc.description.abstractПриводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС.ru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия).ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 901,02 КБ)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИзучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственныйru
dc.titleИзучение установки тонкопленочного напыления материаловru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.01.33ru
dc.subject.udc621.382.049.77(075)ru
dc.textpartП л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на...-
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf901.02 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.