Отрывок: П л а с т и н ч а т о - с т а т о р н ы й н а с о с (см . р и с . 4) состоит из цилиндрического эксцентрика-ротора 1, который вращается вокруг оси корпуса-статора 2, постоянно касаясь его внутренней поверхности. Рабочая камера насоса разделяется на два изолированных объема (рис.4,а) подвижной пластиной 3, плотно прижатой к поверхности ротора пружиной 4. По мере вращения ротор отсекает газ (рис. 4,6), поступающий в на...
Название : Изучение установки тонкопленочного напыления материалов
Авторы/Редакторы : Пиганов М. Н.
Дмитриев В. Д.
Архипов А. В.
Федеральное агентство по образованию
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Изучение установки тонкопленочного напыления материалов : метод. указания к лаб. работе. - Текст : электронный / Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. М. Н. Пиганов, В. Д. Дмитриев, А. В. Архипов. - Самара, 2007. - 1 файл (901,02 Кб)
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Приводятся сведения о методах удаления газа из откачиваемого объема и измерения степени вакуума. Описаны конструкции и принцип работы вакуумной установки и основных приборов измерения степени вакуума. Рекомендуются студентам очной, вечерней и заочной формы обучения специальности 210201 при изучении дисциплин «Технологические основы микроэлектроники» и «Технология микросборок». Подготовлены на кафедре КиПРЭС.
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-ustanovki-tonkoplenochnogo-napyleniya-materialov-93247
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\470518
Ключевые слова: вакуумные установки
измерение степени вакуума
методические материалы
методы удаления газа
приборы измерения степени вакуума
установка тонкопленочного напыления материалов
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Пиганов М.Н. Изучение установки 2007.pdf901.02 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.