Отрывок: Свободные маски, используемые при изготовлении пленочных элементов и схем, должны удовлетворять следующим требованиям: иметь узкие прорези < (0 ,1 ми о точностью изготовления ± 0 ,0 0 5 ; прорези в масках должны иметь четкие контуры без шерохова­ тостей г.о кромке, которые были бы видны при 50-ти кратной увели­ чении; обладать достаточной жесткостью а упругость» и быть дост...
Название : Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме
Авторы/Редакторы : Волков А. В.
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
Дата публикации : 1982
Библиографическое описание : Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (405,38 Кб)
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Предлагаются методы изучения технологическихпроцессов изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов к проводников пассивных элементов гибридных ИС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем".
Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93227
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\470498
Ключевые слова: геоинформационные системы (ГИС)
методические издания
пассивные элементы ГИС
термическое напыление в вакууме
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Волков А.В. Изучение технологии 1982.pdf405.38 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.