Отрывок: аs ж *• 1 3 :' :i о . :5. !!сп;:!П!!тг.’:” : л . 6 - прополомичо (1 — ияворки '.•(■лтлож'мото м пттп 'л л л ) ; и, г , о - лспточпмо; 5 . л, и - *!•!•’ ГЧ'.!'Ы!НО ( I - Tniv.ni., — НПГТОППТЛЛЪ, ■' - ТОКС’- по ни, 1 - toivobh.o nicpnmi) 2 . ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПАССИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОДОМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ Технологический процесс изготовления пассивных элементов...
Название : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме |
Авторы/Редакторы : | Волков А. В. Дмитриев В. Д. Калугина Т. С. Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1990 |
Библиографическое описание : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом термического напыления в вакууме : метод. указания к лаб. работе № 32. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост.: А. В. Волков, В. Д. Дмитриев, Т. С. Калугина]. - Куйбышев, 1990. - 1 файл (622,46 Кб) |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Приводятся сведения о материалах для испарителей,технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных резисторов, конденсаторов и проводников пассивных элементов РЛС, а также анализируется связь технологического процесса напыления с параметрами тонкопленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем и микропроцессоров". Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-termicheskogo-napyleniya-v-vakuume-93225 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470499 |
Ключевые слова: | вакуумная технология гибридные интегральные микросхемы испарители методические материалы пленки термическое вакуумное напыление тонкопленочные элементы |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Волков А.В. Изучение технологии 1990.pdf | 622.46 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.