Отрывок: На первом этапе при температуре 300...350°С происходит выжигание органической связки. Этот процесс проводят при медленном подъёме температуры, чтобы в плёнках не возникали сквозные отверстия, что особо нежелательно для диэлектрических слоев. Второй этап - спекание пасты проводят при более высоких температурах 700... 1000°С (в зависимости от типа паст), он более критичен к колебаниям температуры. Этот этап наиболее ответственен, так как происходящ ие при с...
Название : | Изучение технологического процесса изготовления толстопленочных гибридных интегральных микросхем |
Авторы/Редакторы : | Дмитриев В. Д. Пиганов М. Н. Меркулов А. И. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 2002 |
Библиографическое описание : | Изучение технологического процесса изготовления толстопленочных гибридных интегральных микросхем : метод. указания к лаб. работе по курсу "Технол. процессы микроэлектроники". - Текст : электронный / М-во образования Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, М. Н. Пиганов, А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - 1 файл (451,25 Кб) |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Приведены теоретические сведения по технологии изготовления толстоплёночных гибридных интегральных микросхем (ГИМС). Описаны основные узлы и блоки полуавтомата трафаретной печати типа ПТП-1, а также порядок работы на нём для приобретения практических навыков изготовления толстоплёночных ГИМС. Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины «Технологические процессы микроэлектроники». Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologicheskogo-processa-izgotovleniya-tolstoplenochnyh-gibridnyh-integralnyh-mikroshem-93700 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470503 |
Ключевые слова: | гибридные интегральные схемы интегральные микросхемы методические издания полуавтомат трафаретной печати технологические процессы толстопленочные гибридные интегральные схемы (ГИМС) трафаретная печать |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Дмитриев В.Д. Изучение 2002.pdf | 451.25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.