Отрывок: На первом этапе при температуре 300...350°С происходит выжигание органической связки. Этот процесс проводят при медленном подъёме температуры, чтобы в плёнках не возникали сквозные отверстия, что особо нежелательно для диэлектрических слоев. Второй этап - спекание пасты проводят при более высоких температурах 700... 1000°С (в зависимости от типа паст), он более критичен к колебаниям температуры. Этот этап наиболее ответственен, так как происходящ ие при с...
Название : Изучение технологического процесса изготовления толстопленочных гибридных интегральных микросхем
Авторы/Редакторы : Дмитриев В. Д.
Пиганов М. Н.
Меркулов А. И.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2002
Библиографическое описание : Изучение технологического процесса изготовления толстопленочных гибридных интегральных микросхем : метод. указания к лаб. работе по курсу "Технол. процессы микроэлектроники". - Текст : электронный / М-во образования Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, М. Н. Пиганов, А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - 1 файл (451,25 Кб)
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Приведены теоретические сведения по технологии изготовления толстоплёночных гибридных интегральных микросхем (ГИМС). Описаны основные узлы и блоки полуавтомата трафаретной печати типа ПТП-1, а также порядок работы на нём для приобретения практических навыков изготовления толстоплёночных ГИМС. Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины «Технологические процессы микроэлектроники».
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologicheskogo-processa-izgotovleniya-tolstoplenochnyh-gibridnyh-integralnyh-mikroshem-93700
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\470503
Ключевые слова: гибридные интегральные схемы
интегральные микросхемы
методические издания
полуавтомат трафаретной печати
технологические процессы
толстопленочные гибридные интегральные схемы (ГИМС)
трафаретная печать
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Дмитриев В.Д. Изучение 2002.pdf451.25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.