Отрывок: Проблемы, связанны е с производ­ ством фотошаблонов, определяются ря­ дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока...
Название : Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок
Авторы/Редакторы : Буянов В. К.
Самсонов А. Ю.
Пиганов М. Н.
Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
Дата публикации : 1991
Библиографическое описание : Исследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронный
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Предлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА".
Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\478980
Ключевые слова: гибкие интегральные схемы
микроэлектроника
пассивные элементы
технология РЭА
фотолитографические методы
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf1.06 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.