Отрывок: Проблемы, связанны е с производ­ ством фотошаблонов, определяются ря­ дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorБуянов В. К.ru
dc.contributor.authorСамсонов А. Ю.ru
dc.contributor.authorПиганов М. Н.ru
dc.contributor.authorГосударственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школыru
dc.contributor.authorКуйбышевский авиационный институт им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialгибкие интегральные схемыru
dc.coverage.spatialмикроэлектроникаru
dc.coverage.spatialпассивные элементыru
dc.coverage.spatialтехнология РЭАru
dc.coverage.spatialфотолитографические методыru
dc.date.accessioned2022-05-31 09:59:14-
dc.date.available2022-05-31 09:59:14-
dc.date.issued1991ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\478980ru
dc.identifier.citationИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе / Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк., Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; сост. В. К. Буянов, А. Ю. Самсонов, М. Н. Пиганов. - Самара, 1991. - 1 файл (1,04 Мб). - Текст : электронныйru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processov-fotolitografii-pri-izgotovlenii-tolstoplenochnyh-mikrosborok-97686-
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobat.ru
dc.description.abstractПредлагаются методы изучения и практического освоения методики изготовления пассивных элементов гибких интегральных схем фотолитографическим методом. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуются студентам специальности 23.03. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЭА".ru
dc.description.abstractТруды сотрудников КуАИ (электрон. версия).ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборок : метод. указания к лаб. работе. - Текст : непосредственныйru
dc.titleИсследование процессов фотолитографии при изготовлении толстопленочных микросборокru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.01ru
dc.subject.udc621.382.049.776(075)ru
dc.textpartПроблемы, связанны е с производ­ ством фотошаблонов, определяются ря­ дом специфических, особенностей , предъявляемыми к ним требованиям и, к числу которых о тн о сятся : высокая н о с т ь ; высокая м ен тов; выс ока...-
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Буянов В.К. Исследование процессов фотолитографии 1991.pdf1.06 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.