Отрывок: 2.2. Применение термического окисления для подгонки пленочных элементов Б результате термической обработки пленочных резисторов про­ исходит изменение сопротивления. Это явление может использоваться ■ Одля подгонки резисторов. При нагреве резистивной пленки на воздухе наблюдается необра­ тимое увеличение удельного сопротивления, что является следствием интенсификации окислительных процессов на поверхности пленки. Такой метод термообработки удобен тем, что эн...
Название : Исследование процесса окисления тонких пленок
Авторы/Редакторы : Пиганов М. Н.
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
Дата публикации : 1982
Библиографическое описание : Исследование процесса окисления тонких пленок : метод. указания к лаб. работе № 39. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. М. Н. Пиганов]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (549,52 Кб)
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Рассматривается схема образования окислов при термическом окислении полупроводников и металлических пленок; проводится групповая подгонка тонкопленочных резисторов термическим окислением. Предлагается определить диапазон и скорость подгонки, рассчитать оценки математического ожидания, разброса сопротивления резисторов по подложке. Окислением кремниевой пластины получить пленку SOz , определить ее толщину. Рекомендуется для студентов специальности 0705.
Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Issledovanie-processa-okisleniya-tonkih-plenok-96617
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\478314
Ключевые слова: кремниевые пластины
металлические пленки
методические издания
полупроводники
термическое окисление
тонкопленочные резисторы
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Пиганов М.Н.Исследование процесса 1982.pdf549.52 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.