Отрывок: Электрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми...
Название : Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии
Авторы/Редакторы : Сидоров Ф. А.
Рогожин А. Е.
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Сидоров, Ф. А. Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 412-418
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Novyi-mikroskopicheskii-podhod-k-modelirovaniu-processov-elektronnoluchevoi-litografii-85178
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\441605
Ключевые слова: метод Монте-Карло
микроскопический алгоритм
математическое моделирование
полиметилметакрилат
модель дискретных потерь энергии
модель идеальной цепи
электронно-лучевая литография
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
ИТНТ-2020_том 1-412-418.pdf459.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.