Отрывок: Электрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorСидоров Ф. А.ru
dc.contributor.authorРогожин А. Е.ru
dc.coverage.spatialметод Монте-Карлоru
dc.coverage.spatialмикроскопический алгоритмru
dc.coverage.spatialматематическое моделированиеru
dc.coverage.spatialполиметилметакрилатru
dc.coverage.spatialмодель дискретных потерь энергииru
dc.coverage.spatialмодель идеальной цепиru
dc.coverage.spatialэлектронно-лучевая литографияru
dc.creatorСидоров Ф. А., Рогожин А. Е.ru
dc.date.accessioned2020-08-10 15:27:47-
dc.date.available2020-08-10 15:27:47-
dc.date.issued2020ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\441605ru
dc.identifier.citationСидоров, Ф. А. Новый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографии / Ф. А. Сидоров, А. Е. Рогожин // Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Тек / М-во науки и образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т систем обраб. изобр. РАН - фил. ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН. - 2020. - Т. 1. - С. 412-418ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Novyi-mikroskopicheskii-podhod-k-modelirovaniu-processov-elektronnoluchevoi-litografii-85178-
dc.language.isorusru
dc.relation.ispartofИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020) : сб. тр. по материалам VI Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 26-29 мая) : в 4 т. - Текru
dc.sourceИнформационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2020). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоникаru
dc.titleНовый микроскопический подход к моделированию процессов электронно-лучевой литографииru
dc.typeTextru
dc.citation.epage418ru
dc.citation.spage412ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartЭлектрон- электронные взаимодействия, приводящие к разрывам при этом могут быть определены с использованием случайных чисел из промежутка [0, 1) на основе стандартного алгоритма Монте-Карло. Для верификации такого подхода, было проведено моделирование эксперимента, описанного в работе Харриса. Промоделированное распределение молекулярной массы ПММА Секция: Компьютерная оптика и нанофотоника Новый ми...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
ИТНТ-2020_том 1-412-418.pdf459.71 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.