Отрывок: Величина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э...
Название : | Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур |
Другие названия : | Modified method of direct laser writing radially symmetric structures |
Авторы/Редакторы : | Ганчевская, С.В. Скиданов, Р.В. Ganchevskaya, S.V. Skidanov, R.V. |
Ключевые слова : | writing beam radially symmetric structures circle laser writing system |
Дата публикации : | 2018 |
Издательство : | Новая техника |
Библиографическое описание : | Ганчевская С.В. Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур / С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.317-321. |
Аннотация : | Предложен и промоделирован модифицированный метод прямой лазерной записи по фоторезисту. Метод основан на использовании плоскопараллельной пластины для смещения пишущего пучка. Проведено экспериментальное исследование по записи радиально-симметричных структур пучком со смещенной фокусировкой. A modified direct laser photoresist recording method was proposed and modeled. The method is based on using a planar-parallel plate to shift the writing beam. An experimental study was carried out on the recording of radially symmetric structures by a beam with a shifted focusing. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20180519\69689 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
paper_47.pdf | Основная статья | 246.32 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.