Отрывок: Величина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э...
Название : Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур
Другие названия : Modified method of direct laser writing radially symmetric structures
Авторы/Редакторы : Ганчевская, С.В.
Скиданов, Р.В.
Ganchevskaya, S.V.
Skidanov, R.V.
Ключевые слова : writing beam
radially symmetric structures
circle laser writing system
Дата публикации : 2018
Издательство : Новая техника
Библиографическое описание : Ганчевская С.В. Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур / С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.317-321.
Аннотация : Предложен и промоделирован модифицированный метод прямой лазерной записи по фоторезисту. Метод основан на использовании плоскопараллельной пластины для смещения пишущего пучка. Проведено экспериментальное исследование по записи радиально-симметричных структур пучком со смещенной фокусировкой. A modified direct laser photoresist recording method was proposed and modeled. The method is based on using a planar-parallel plate to shift the writing beam. An experimental study was carried out on the recording of radially symmetric structures by a beam with a shifted focusing.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689
Другие идентификаторы : Dspace\SGAU\20180519\69689
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper_47.pdfОсновная статья246.32 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.