Отрывок: Величина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГанчевская, С.В.-
dc.contributor.authorСкиданов, Р.В.-
dc.contributor.authorGanchevskaya, S.V.-
dc.contributor.authorSkidanov, R.V.-
dc.date.accessioned2018-05-22 10:09:00-
dc.date.available2018-05-22 10:09:00-
dc.date.issued2018-
dc.identifierDspace\SGAU\20180519\69689ru
dc.identifier.citationГанчевская С.В. Модифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структур / С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.317-321.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modificirovannyi-metod-pryamoi-lazernoi-zapisi-radialnosimmetrichnyh-struktur-69689-
dc.description.abstractПредложен и промоделирован модифицированный метод прямой лазерной записи по фоторезисту. Метод основан на использовании плоскопараллельной пластины для смещения пишущего пучка. Проведено экспериментальное исследование по записи радиально-симметричных структур пучком со смещенной фокусировкой. A modified direct laser photoresist recording method was proposed and modeled. The method is based on using a planar-parallel plate to shift the writing beam. An experimental study was carried out on the recording of radially symmetric structures by a beam with a shifted focusing.ru
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при поддержке Федерального агентства научных организаций (соглашение No 007-ГЗ/Ч3363/26), Министерства образования РФ в рамках выполнения государственного задания 3.3025.2017/4.6 и гранта Президента НШ-6307.2018.8.ru
dc.language.isorusru
dc.publisherНовая техникаru
dc.subjectwriting beamru
dc.subjectradially symmetric structuresru
dc.subjectcircle laser writing systemru
dc.titleМодифицированный метод прямой лазерной записи радиально-симметричных структурru
dc.title.alternativeModified method of direct laser writing radially symmetric structuresru
dc.typeArticleru
dc.textpartВеличина смещения в такой конструкции будет определяться формулой (1): ( )αsinhx = (1) Компьютерная оптика и нанофотоника С.В. Ганчевская, Р.В. Скиданов IV Международная конференция и молодёжная школа «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) 319 К сожалению, такая пластина приводит к определенным э...-
Располагается в коллекциях: Информационные технологии и нанотехнологии

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
paper_47.pdfОсновная статья246.32 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.