Отрывок: На основе измерения профиля и показателя преломления ITO-решетки было вычислено распределение интенсивности в картинной плоскости. При расчете использовался дифракционный интеграл Рэлея-Зоммерфельда для одномерной структуры. Модельная решетка содержала 30 щелей периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. Высота ITO- профиля задавалась равной 115 нм, показатель преломления – 1,857. Пропускание по интенсивности с учет...
Название : | Изготовление и исследование дифракционной решетки, выполненной из прозрачного проводящего оксида |
Авторы/Редакторы : | Паранин, В.Д. Карпеев, С.В. |
Ключевые слова : | амплитудно-фазовая решетка оксид индия – олова эллипсометрия спектроскопия интерферометрия |
Дата публикации : | 2016 |
Издательство : | Издательство СГАУ |
Библиографическое описание : | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 68-71 |
Аннотация : | Методом литографии изготовлена дифракционная решетка на основе прозрачного проводящего оксида индия – олова с периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. При помощи эллипсометра определены показатели преломления и поглощения оксида индия – олова толщиной 115..117 нм, которые на длине волны 633 нм равны n=1,857±0,008, k=0,000±0,009. С использованием спектроскопии исследовано пропускание в области выступа и щели решетки, составившее 82,6% и 91%, соответственно. Исследована диаграмма направленности дифракционной решетки и обнаружен ее амплитудно-фазовый характер, обусловленный различным пропусканием участков маски оксида индия – олова. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Izgotovlenie-i-issledovanie-difrakcionnoi-reshetki-vypolnennoi-iz-prozrachnogo-provodyashego-oksida-60619 |
ISBN : | 978-5-7883-1078-7 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20161208\60619 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
68-71.pdf | Основная статья | 451.45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.