Отрывок: На основе измерения профиля и показателя преломления ITO-решетки было вычислено распределение интенсивности в картинной плоскости. При расчете использовался дифракционный интеграл Рэлея-Зоммерфельда для одномерной структуры. Модельная решетка содержала 30 щелей периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. Высота ITO- профиля задавалась равной 115 нм, показатель преломления – 1,857. Пропускание по интенсивности с учет...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Паранин, В.Д. | - |
dc.contributor.author | Карпеев, С.В. | - |
dc.date.accessioned | 2016-12-08 10:57:05 | - |
dc.date.available | 2016-12-08 10:57:05 | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier | Dspace\SGAU\20161208\60619 | ru |
dc.identifier.citation | Материалы Международной конференции и молодёжной школы «Информационные технологии и нанотехнологии», с. 68-71 | ru |
dc.identifier.isbn | 978-5-7883-1078-7 | - |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Izgotovlenie-i-issledovanie-difrakcionnoi-reshetki-vypolnennoi-iz-prozrachnogo-provodyashego-oksida-60619 | - |
dc.description.abstract | Методом литографии изготовлена дифракционная решетка на основе прозрачного проводящего оксида индия – олова с периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. При помощи эллипсометра определены показатели преломления и поглощения оксида индия – олова толщиной 115..117 нм, которые на длине волны 633 нм равны n=1,857±0,008, k=0,000±0,009. С использованием спектроскопии исследовано пропускание в области выступа и щели решетки, составившее 82,6% и 91%, соответственно. Исследована диаграмма направленности дифракционной решетки и обнаружен ее амплитудно-фазовый характер, обусловленный различным пропусканием участков маски оксида индия – олова. | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.publisher | Издательство СГАУ | ru |
dc.subject | амплитудно-фазовая решетка | ru |
dc.subject | оксид индия – олова | ru |
dc.subject | эллипсометрия | ru |
dc.subject | спектроскопия | ru |
dc.subject | интерферометрия | ru |
dc.title | Изготовление и исследование дифракционной решетки, выполненной из прозрачного проводящего оксида | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.textpart | На основе измерения профиля и показателя преломления ITO-решетки было вычислено распределение интенсивности в картинной плоскости. При расчете использовался дифракционный интеграл Рэлея-Зоммерфельда для одномерной структуры. Модельная решетка содержала 30 щелей периодом 300 мкм и шириной щели 165 мкм. Высота ITO- профиля задавалась равной 115 нм, показатель преломления – 1,857. Пропускание по интенсивности с учет... | - |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
68-71.pdf | Основная статья | 451.45 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.