Отрывок: 4. Моделирование энергетических зависимостей Для решения задачи дифракции излучения на высокочастотных дифракционных решетках, период которых незначительно превышает рабочую длину волны, необходима волновая трактовка. Скалярная теория дифракци...
Название : | Дифракционные решетки в системе датчика линейных перемещений |
Другие названия : | Diffraction gratings applied in interferometric linear displacement encoders |
Авторы/Редакторы : | Шишова, М.В. Лушников, Д.С. Жердев, А.Ю. Сцепуро, Н.Г. Shishova, M.V. Lushnikov, D.S. Zherdev, A.Y. Stsepuro, N.G. |
Ключевые слова : | Diffraction grating meander relief electromagnetic diffraction theory electron beam lithography diffraction efficiency |
Дата публикации : | 2018 |
Издательство : | Новая техника |
Библиографическое описание : | Шишова М.В. Дифракционные решетки в системе датчика линейных перемещений /М.В. Шишова, Д.С. Лушников, А.Ю. Жердев, Н.Г. Сцепуро // Сборник трудов IV международной конференции и молодежной школы «Информационные технологии и нанотехнологии» (ИТНТ-2018) - Самара: Новая техника, 2018. - С.154-161. |
Аннотация : | В работе проанализированы особенности применения дифракционных решеток с профилем рельефа в виде одномерного меандра в системе датчика линейных перемещений. Проведено моделирование дифракции монохроматической волны на исследуемых структурах с целью получения зависимостей дифракционной эффективности. Предложены условия применимости дифракционных решеток в нанометрических датчиках линейных перемещений, которые в то же время являются критериями качества при контроле реальных образцов измерительных шкал. The paper focuses on one-dimensional diffraction gratings applied in the system of linear displacement encoders. A diffraction simulation of a monochromatic wave on the meander relief structure under study was carried out to conclude with the efficiency dependences. Quality conditions for coding and analysing diffraction gratings were held out. That conditions are at the same time the applicability criteria when controlling the real measuring scales for nanometric sensors of linear displacement. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Difrakcionnye-reshetki-v-sisteme-datchika-lineinyh-peremeshenii-69365 |
Другие идентификаторы : | Dspace\SGAU\20180516\69365 |
Располагается в коллекциях: | Информационные технологии и нанотехнологии |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
paper_23.pdf | Основная статья | 559.47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.