Отрывок: Экспериментальная часть работы осуществлена с помощью установки магнетронного распыления Каролина Д-12А. Данная вакуумная напылительная система, состоящая из вакуумного поста и стойки управлен...
Название : Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Ширина В. А.
Советкина М. А.
Фомченков С. А.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Ширина, В. А. Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления / В. А. Ширина, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 80-81.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-rezistivnyh-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97422
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\481313
Ключевые слова: технологические установки
тонкопленочные резисторы
тонкие пленки
распыление мишени
пленочные резистивные материалы
ионная бомбардировка
магнитное поле
магнетронные распылительные системы
метод магнетронного распыления
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-80-81.pdf343.98 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.