Отрывок: Экспериментальная часть работы осуществлена с помощью установки магнетронного распыления Каролина Д-12А. Данная вакуумная напылительная система, состоящая из вакуумного поста и стойки управлен...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorШирина В. А.ru
dc.contributor.authorСоветкина М. А.ru
dc.contributor.authorФомченков С. А.ru
dc.coverage.spatialтехнологические установкиru
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторыru
dc.coverage.spatialтонкие пленкиru
dc.coverage.spatialраспыление мишениru
dc.coverage.spatialпленочные резистивные материалыru
dc.coverage.spatialионная бомбардировкаru
dc.coverage.spatialмагнитное полеru
dc.coverage.spatialмагнетронные распылительные системыru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыленияru
dc.creatorШирина В. А., Советкина М. А., Фомченков С. А.ru
dc.date.accessioned2022-05-13 12:58:55-
dc.date.available2022-05-13 12:58:55-
dc.date.issued2022ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\481313ru
dc.identifier.citationШирина, В. А. Получение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыления / В. А. Ширина, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 80-81.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-rezistivnyh-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97422-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронныйru
dc.titleПолучение тонких резистивных пленок методом магнетронного распыленияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage81ru
dc.citation.spage80ru
dc.textpartЭкспериментальная часть работы осуществлена с помощью установки магнетронного распыления Каролина Д-12А. Данная вакуумная напылительная система, состоящая из вакуумного поста и стойки управлен...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-80-81.pdf343.98 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.