Отрывок: Данный метод является хорошей альтернативой вакуумно-дуговому или электронно-лучевому испарению, а также гальваническому осаждению. Исходя из результатов работы, можно сделать вывод, что магнетронное получение тонких пленок является весьма перспективным и требует дополнительного изучения в будущем. Например, до сих пор не решена проблема напыления тонких пленок на рельефно-сложные поверхности или не...
Название : Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Жидецкий Н. Д.
Советкина М. А.
Фомченков С. А.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Жидецкий, Н. Д. Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления / Н. Д. Жидецкий, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 76-78.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-provodyashih-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97420
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\481296
Ключевые слова: тонкие проводящие пленки
технологические установки
ионная бомбардировка
магнитное поле
метод магнетронного распыления
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-76-78.pdf202.36 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.