Отрывок: Данный метод является хорошей альтернативой вакуумно-дуговому или электронно-лучевому испарению, а также гальваническому осаждению. Исходя из результатов работы, можно сделать вывод, что магнетронное получение тонких пленок является весьма перспективным и требует дополнительного изучения в будущем. Например, до сих пор не решена проблема напыления тонких пленок на рельефно-сложные поверхности или не...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЖидецкий Н. Д.ru
dc.contributor.authorСоветкина М. А.ru
dc.contributor.authorФомченков С. А.ru
dc.coverage.spatialтонкие проводящие пленкиru
dc.coverage.spatialтехнологические установкиru
dc.coverage.spatialионная бомбардировкаru
dc.coverage.spatialмагнитное полеru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыленияru
dc.creatorЖидецкий Н. Д., Советкина М. А., Фомченков С. А.ru
dc.date.accessioned2022-05-13 12:58:53-
dc.date.available2022-05-13 12:58:53-
dc.date.issued2022ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\481296ru
dc.identifier.citationЖидецкий, Н. Д. Получение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыления / Н. Д. Жидецкий, М. А. Советкина, С. А. Фомченков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 76-78.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-tonkih-provodyashih-plenok-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-97420-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронныйru
dc.titleПолучение тонких проводящих пленок методом магнетронного распыленияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage78ru
dc.citation.spage76ru
dc.textpartДанный метод является хорошей альтернативой вакуумно-дуговому или электронно-лучевому испарению, а также гальваническому осаждению. Исходя из результатов работы, можно сделать вывод, что магнетронное получение тонких пленок является весьма перспективным и требует дополнительного изучения в будущем. Например, до сих пор не решена проблема напыления тонких пленок на рельефно-сложные поверхности или не...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-76-78.pdf202.36 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.