Репозиторий Самарского университета

Отрывок: I В результате отработки технологии получения защитных пленок и основе А12О3 был выбран следующий оптимальный режим работы ВЧ магнетрона: Вакуум предварительной откачки - нс хуже 1,4-10'6 тор. Давление газовой смеси в рабочей камере - 1,8-10’’ тор. Отношение да...

Название :	Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС
Авторы/Редакторы :	Костюк Г. Ф. Ерендеев Ю. П.
Дата публикации :	2005
Библиографическое описание :	Костюк, Г. Ф. Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС / Г. Ф. Костюк, Ю. П. Ерендеев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 133-134.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\487906
Ключевые слова:	диэлектрические пленки двуокиси алюминия защита элементов СВЧ ГИС защитные пленки метод реактивного ВЧ-магнетронного напыления металлизированные структуры СВЧ ГИС реактивное ВЧ-магнетронное напыление СВЧ ГИС
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.