Отрывок: I В результате отработки технологии получения защитных пленок и основе А12О3 был выбран следующий оптимальный режим работы ВЧ магнетрона: Вакуум предварительной откачки - нс хуже 1,4-10'6 тор. Давление газовой смеси в рабочей камере - 1,8-10’’ тор. Отношение да...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКостюк Г. Ф.ru
dc.contributor.authorЕрендеев Ю. П.ru
dc.coverage.spatialдиэлектрические пленки двуокиси алюминияru
dc.coverage.spatialзащита элементов СВЧ ГИСru
dc.coverage.spatialзащитные пленкиru
dc.coverage.spatialметод реактивного ВЧ-магнетронного напыленияru
dc.coverage.spatialметаллизированные структуры СВЧ ГИСru
dc.coverage.spatialреактивное ВЧ-магнетронное напылениеru
dc.coverage.spatialСВЧ ГИСru
dc.creatorКостюк Г. Ф., Ерендеев Ю. П.ru
dc.date.accessioned2022-10-17 14:27:01-
dc.date.available2022-10-17 14:27:01-
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\487906ru
dc.identifier.citationКостюк, Г. Ф. Получение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИС / Г. Ф. Костюк, Ю. П. Ерендеев // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 133-134.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Poluchenie-i-ispolzovanie-dielektricheskih-plenok-dvuokisi-aluminiya-Al2O3-metodom-reaktivnogo-VCh-magnetronnogo-napyleniya-dlya-zashity-elementov-SVCh-GIS-99438-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронныйru
dc.titleПолучение и использование диэлектрических пленок двуокиси алюминия (Аl2О3) методом реактивного ВЧ - магнетронного напыления для защиты элементов СВЧ ГИСru
dc.typeTextru
dc.citation.epage134ru
dc.citation.spage133ru
dc.textpartI В результате отработки технологии получения защитных пленок и основе А12О3 был выбран следующий оптимальный режим работы ВЧ магнетрона: Вакуум предварительной откачки - нс хуже 1,4-10'6 тор. Давление газовой смеси в рабочей камере - 1,8-10’’ тор. Отношение да...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-133-134.pdf99.16 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.