Отрывок: Одним из видов реализации является магнетронная распылительная система (МРС) [2]. На текущий момент применяются различные конфигурации МРС: коаксиальные системы электродов и системы с плоскими электродами. Они в свою очередь могут иметь аксиальное магнитное поле или радиальное. Магнитное поле может создаваться с помощью либо электромагнитов, либо постоянных магнитов [1]. В ...
Название : | Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы |
Авторы/Редакторы : | Федотов Ф. С. |
Дата публикации : | 2022 |
Библиографическое описание : | Федотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Podbor-magnitnoi-lovushki-dlya-magnetronnoi-raspylitelnoi-sistemy-97428 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\481330 |
Ключевые слова: | создание лабораторного стенда планарные магнетроны программа FEMM магнетронные распылительные системы магнитное поле магнитные ловушки метод магнетронного распыления моделирование нанесение покрытий нанесение тонких пленок |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf | 177.48 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.