Отрывок: Одним из видов реализации является магнетронная распылительная система (МРС) [2]. На текущий момент применяются различные конфигурации МРС: коаксиальные системы электродов и системы с плоскими электродами. Они в свою очередь могут иметь аксиальное магнитное поле или радиальное. Магнитное поле может создаваться с помощью либо электромагнитов, либо постоянных магнитов [1]. В ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorФедотов Ф. С.ru
dc.coverage.spatialсоздание лабораторного стендаru
dc.coverage.spatialпланарные магнетроныru
dc.coverage.spatialпрограмма FEMMru
dc.coverage.spatialмагнетронные распылительные системыru
dc.coverage.spatialмагнитное полеru
dc.coverage.spatialмагнитные ловушкиru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыленияru
dc.coverage.spatialмоделированиеru
dc.coverage.spatialнанесение покрытийru
dc.coverage.spatialнанесение тонких пленокru
dc.creatorФедотов Ф. С.ru
dc.date.accessioned2022-05-13 12:58:59-
dc.date.available2022-05-13 12:58:59-
dc.date.issued2022ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\481330ru
dc.identifier.citationФедотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Podbor-magnitnoi-lovushki-dlya-magnetronnoi-raspylitelnoi-sistemy-97428-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронныйru
dc.titleПодбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системыru
dc.typeTextru
dc.citation.epage91ru
dc.citation.spage90ru
dc.textpartОдним из видов реализации является магнетронная распылительная система (МРС) [2]. На текущий момент применяются различные конфигурации МРС: коаксиальные системы электродов и системы с плоскими электродами. Они в свою очередь могут иметь аксиальное магнитное поле или радиальное. Магнитное поле может создаваться с помощью либо электромагнитов, либо постоянных магнитов [1]. В ...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf177.48 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.