Отрывок: Одним из видов реализации является магнетронная распылительная система (МРС) [2]. На текущий момент применяются различные конфигурации МРС: коаксиальные системы электродов и системы с плоскими электродами. Они в свою очередь могут иметь аксиальное магнитное поле или радиальное. Магнитное поле может создаваться с помощью либо электромагнитов, либо постоянных магнитов [1]. В ...
Название : Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы
Авторы/Редакторы : Федотов Ф. С.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Федотов, Ф. С. Подбор магнитной ловушки для магнетронной распылительной системы / Ф. С. Федотов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 90-91.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Podbor-magnitnoi-lovushki-dlya-magnetronnoi-raspylitelnoi-sistemy-97428
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\481330
Ключевые слова: создание лабораторного стенда
планарные магнетроны
программа FEMM
магнетронные распылительные системы
магнитное поле
магнитные ловушки
метод магнетронного распыления
моделирование
нанесение покрытий
нанесение тонких пленок
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-90-91.pdf177.48 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.