Отрывок: В настоящее время математическое моделирование является одним из основных методом исследования нано- и микрообъектов. И существует достаточно большое число моделей, которые описывают образование пористого кремния: модель Беали, Смита, Леманна и другие. В ходе работы будет рассмотрена модель, созданная на базе плат...
Название : Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния
Авторы/Редакторы : Жигаев Д. А.
Шишкина Д. А.
Шишкин И. А.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Жигаев, Д. А. Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния / Д. А. Жигаев, Д. А. Шишкина, И. А. Шишкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 149-150.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processov-elektrohimicheskogo-travleniya-poristogo-kremniya-97458
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\481478
Ключевые слова: электрохимическое травление
уравнение Нернста-Планка
пористый кремний
математическое моделирование
моделирование электрического поля
COMSOL Multiphysics
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-149-150.pdf198.29 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.