Отрывок: В настоящее время математическое моделирование является одним из основных методом исследования нано- и микрообъектов. И существует достаточно большое число моделей, которые описывают образование пористого кремния: модель Беали, Смита, Леманна и другие. В ходе работы будет рассмотрена модель, созданная на базе плат...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЖигаев Д. А.ru
dc.contributor.authorШишкина Д. А.ru
dc.contributor.authorШишкин И. А.ru
dc.coverage.spatialэлектрохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialуравнение Нернста-Планкаru
dc.coverage.spatialпористый кремнийru
dc.coverage.spatialматематическое моделированиеru
dc.coverage.spatialмоделирование электрического поляru
dc.coverage.spatialCOMSOL Multiphysicsru
dc.creatorЖигаев Д. А., Шишкина Д. А., Шишкин И. А.ru
dc.date.accessioned2022-05-13 12:59:23-
dc.date.available2022-05-13 12:59:23-
dc.date.issued2022ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\481478ru
dc.identifier.citationЖигаев, Д. А. Моделирование процессов электрохимического травления пористого кремния / Д. А. Жигаев, Д. А. Шишкина, И. А. Шишкин // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. А. И. Данилина. - Самара : Артель, 2022. - С. 149-150.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processov-elektrohimicheskogo-travleniya-poristogo-kremniya-97458-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 19-22 апр. 2022 г. - Текст : электронныйru
dc.titleМоделирование процессов электрохимического травления пористого кремнияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage150ru
dc.citation.spage149ru
dc.textpartВ настоящее время математическое моделирование является одним из основных методом исследования нано- и микрообъектов. И существует достаточно большое число моделей, которые описывают образование пористого кремния: модель Беали, Смита, Леманна и другие. В ходе работы будет рассмотрена модель, созданная на базе плат...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-903-943-17-3_2022-149-150.pdf198.29 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.