Репозиторий Самарского университета

Отрывок: С возрастанием массы и энергии налетающего иона ширина области формирования силицидов хрома увеличивается. 3. Результаты моделирования позволяют прогнозировать состав и размеры силицидных областей в приповерхностном слое кремния, сформированных под действием ИЛО. 4. Выполнено теоретическое исследование ЭЭС кремния, содержащего атомы хрома и комплексы дефектов, включающих в себя атомы углерода, кислорода, бора и фосфора. Показано, что атомы замещения хрома не ...

Название :	Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения
Авторы/Редакторы :	Остапенко Н. А.
Дата публикации :	2004
Библиографическое описание :	Остапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-ionnoluchevoi-obrabotki-ctruktury-metallkremnii-i-ee-elektronnogo-energeticheskogo-stroeniya-92576
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\469549
Ключевые слова:	атомы глубокие уровни (ГУ) ионно-лучевая обработка (ИЛО) исследования моделирование процесса металл-кремний кремний электронно-энергетическое строение (ЭЭС) хром силициды
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.