Отрывок: С возрастанием массы и энергии налетающего иона ширина области формирования силицидов хрома увеличивается. 3. Результаты моделирования позволяют прогнозировать состав и размеры силицидных областей в приповерхностном слое кремния, сформированных под действием ИЛО. 4. Выполнено теоретическое исследование ЭЭС кремния, содержащего атомы хрома и комплексы дефектов, включающих в себя атомы углерода, кислорода, бора и фосфора. Показано, что атомы замещения хрома не ...
Название : | Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения |
Авторы/Редакторы : | Остапенко Н. А. |
Дата публикации : | 2004 |
Библиографическое описание : | Остапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57 |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-ionnoluchevoi-obrabotki-ctruktury-metallkremnii-i-ee-elektronnogo-energeticheskogo-stroeniya-92576 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\469549 |
Ключевые слова: | атомы глубокие уровни (ГУ) ионно-лучевая обработка (ИЛО) исследования моделирование процесса металл-кремний кремний электронно-энергетическое строение (ЭЭС) хром силициды |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-56-57.pdf | 123.94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.