Отрывок: С возрастанием массы и энергии налетающего иона ширина области формирования силицидов хрома увеличивается. 3. Результаты моделирования позволяют прогнозировать состав и размеры силицидных областей в приповерхностном слое кремния, сформированных под действием ИЛО. 4. Выполнено теоретическое исследование ЭЭС кремния, содержащего атомы хрома и комплексы дефектов, включающих в себя атомы углерода, кислорода, бора и фосфора. Показано, что атомы замещения хрома не ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorОстапенко Н. А.ru
dc.coverage.spatialатомыru
dc.coverage.spatialглубокие уровни (ГУ)ru
dc.coverage.spatialионно-лучевая обработка (ИЛО)ru
dc.coverage.spatialисследованияru
dc.coverage.spatialмоделирование процессаru
dc.coverage.spatialметалл-кремнийru
dc.coverage.spatialкремнийru
dc.coverage.spatialэлектронно-энергетическое строение (ЭЭС)ru
dc.coverage.spatialхромru
dc.coverage.spatialсилицидыru
dc.creatorОстапенко Н. А.ru
dc.date.accessioned2021-10-26 14:21:02-
dc.date.available2021-10-26 14:21:02-
dc.date.issued2004ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\469549ru
dc.identifier.citationОстапенко, Н. А. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения. - Текст : электронный / Н. А. Остапенко // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - 2004. - С. 56-57ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-processa-ionnoluchevoi-obrabotki-ctruktury-metallkremnii-i-ee-elektronnogo-energeticheskogo-stroeniya-92576-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 31 мая - 4 июня 2004 г. - Текст : электронныйru
dc.titleМоделирование процесса ионно-лучевой обработки cтруктуры металл-кремний и ее электронного энергетического строенияru
dc.typeTextru
dc.citation.epage57ru
dc.citation.spage56ru
dc.textpartС возрастанием массы и энергии налетающего иона ширина области формирования силицидов хрома увеличивается. 3. Результаты моделирования позволяют прогнозировать состав и размеры силицидных областей в приповерхностном слое кремния, сформированных под действием ИЛО. 4. Выполнено теоретическое исследование ЭЭС кремния, содержащего атомы хрома и комплексы дефектов, включающих в себя атомы углерода, кислорода, бора и фосфора. Показано, что атомы замещения хрома не ...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-56-57.pdf123.94 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.