Отрывок: Разработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной...
Название : | Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров |
Авторы/Редакторы : | Карасева Т. В. |
Дата публикации : | 2005 |
Библиографическое описание : | Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\487693 |
Ключевые слова: | анизотропный характер химического травления интегральные датчики конструктивно-механические параметры чувствительных элементов микромеханические чувствительные элементы элементы интегральных акселерометров |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-69-71.pdf | 152.19 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.