Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Разработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной...

Название :	Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров
Авторы/Редакторы :	Карасева Т. В.
Дата публикации :	2005
Библиографическое описание :	Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\487693
Ключевые слова:	анизотропный характер химического травления интегральные датчики конструктивно-механические параметры чувствительных элементов микромеханические чувствительные элементы элементы интегральных акселерометров
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.