Отрывок: Разработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Карасева Т. В. | ru |
dc.coverage.spatial | анизотропный характер химического травления | ru |
dc.coverage.spatial | интегральные датчики | ru |
dc.coverage.spatial | конструктивно-механические параметры чувствительных элементов | ru |
dc.coverage.spatial | микромеханические чувствительные элементы | ru |
dc.coverage.spatial | элементы интегральных акселерометров | ru |
dc.creator | Карасева Т. В. | ru |
dc.date.accessioned | 2022-10-17 14:26:38 | - |
dc.date.available | 2022-10-17 14:26:38 | - |
dc.date.issued | 2005 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\487693 | ru |
dc.identifier.citation | Карасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71. | ru |
dc.identifier.uri | http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418 | - |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.source | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный | ru |
dc.title | Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.citation.epage | 71 | ru |
dc.citation.spage | 69 | ru |
dc.textpart | Разработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной... | - |
Располагается в коллекциях: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-69-71.pdf | 152.19 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.