Отрывок: Разработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorКарасева Т. В.ru
dc.coverage.spatialанизотропный характер химического травленияru
dc.coverage.spatialинтегральные датчикиru
dc.coverage.spatialконструктивно-механические параметры чувствительных элементовru
dc.coverage.spatialмикромеханические чувствительные элементыru
dc.coverage.spatialэлементы интегральных акселерометровru
dc.creatorКарасева Т. В.ru
dc.date.accessioned2022-10-17 14:26:38-
dc.date.available2022-10-17 14:26:38-
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\487693ru
dc.identifier.citationКарасева, Т. В. Исследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометров / Т. В. Карасева // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 69-71.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-konstruktivnomehanicheskih-parametrov-chuvstvitelnyh-elementov-integralnyh-akselerometrov-99418-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование конструктивно-механических параметров чувствительных элементов интегральных акселерометровru
dc.typeTextru
dc.citation.epage71ru
dc.citation.spage69ru
dc.textpartРазработанный способ позволяет повысить точность чувствительной массы на 20%, а точность воспроизводимости жесткости упругих элементов - более чем в два раза. 4. Рассмотрены закономерности формирования размерных погрешностей ЧЭ интегральных акселерометров и датчиков давлений с учетом неидеальной...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-69-71.pdf152.19 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.