Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Перпендикулярно оси вращения ротора к нему подводя кольцевую планку, на внутренней цилиндрической поверхности которо: наклеено приборное сукно, пропитанное фоторезистом. При вращении ротор на его поверхности в широтном направлении с углом -170° образуете, равномерный слой фоторезиста. Анализ технологической операции нанесения фоторезиста проводигьс по данным измерениям разброса толщины пленки фоторези...

Название :	Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии
Авторы/Редакторы :	Марковская Н. В.
Дата публикации :	2005
Библиографическое описание :	Марковская, Н. В. Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии / Н. В. Марковская // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 75-77.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) :	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Formirovanie-precizionnogo-risunka-na-rotorah-giroskopicheskih-priborov-metodom-fotolitografii-99421
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\487818
Ключевые слова:	гироскопические приборы метод фотолитографии фоторезисты рисунки на сферических поверхностях роторы гироскопических приборов процесс метода фотолитографии
Располагается в коллекциях:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.