Отрывок: Перпендикулярно оси вращения ротора к нему подводя кольцевую планку, на внутренней цилиндрической поверхности которо: наклеено приборное сукно, пропитанное фоторезистом. При вращении ротор на его поверхности в широтном направлении с углом -170° образуете, равномерный слой фоторезиста. Анализ технологической операции нанесения фоторезиста проводигьс по данным измерениям разброса толщины пленки фоторези...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМарковская Н. В.ru
dc.coverage.spatialгироскопические приборыru
dc.coverage.spatialметод фотолитографииru
dc.coverage.spatialфоторезистыru
dc.coverage.spatialрисунки на сферических поверхностяхru
dc.coverage.spatialроторы гироскопических приборовru
dc.coverage.spatialпроцесс метода фотолитографииru
dc.creatorМарковская Н. В.ru
dc.date.accessioned2022-10-17 14:26:41-
dc.date.available2022-10-17 14:26:41-
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\487818ru
dc.identifier.citationМарковская, Н. В. Формирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографии / Н. В. Марковская // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 75-77.ru
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Formirovanie-precizionnogo-risunka-na-rotorah-giroskopicheskih-priborov-metodom-fotolitografii-99421-
dc.language.isorusru
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронныйru
dc.titleФормирование прецизионного рисунка на роторах гироскопических приборов методом фотолитографииru
dc.typeTextru
dc.citation.epage77ru
dc.citation.spage75ru
dc.textpartПерпендикулярно оси вращения ротора к нему подводя кольцевую планку, на внутренней цилиндрической поверхности которо: наклеено приборное сукно, пропитанное фоторезистом. При вращении ротор на его поверхности в широтном направлении с углом -170° образуете, равномерный слой фоторезиста. Анализ технологической операции нанесения фоторезиста проводигьс по данным измерениям разброса толщины пленки фоторези...-
Располагается в коллекциях: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-75-77.pdf130.9 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.